9月開始，有3項(xiàng)新的MEMS傳感器標(biāo)準(zhǔn)開始實(shí)施，整個(gè)2023年預(yù)計(jì)有7項(xiàng)MEMS技術(shù)新國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)陸續(xù)實(shí)施。

【資料圖】

隨著近年來中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，MEMS傳感器等技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的制定也在加快進(jìn)行，MEMS標(biāo)準(zhǔn)從混亂走向秩序，領(lǐng)先者們正在建立領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)和行業(yè)準(zhǔn)入壁壘！

對(duì)于商業(yè)競(jìng)爭(zhēng)，我們經(jīng)常聽到的一句話就是：一流企業(yè)做標(biāo)準(zhǔn)，二流企業(yè)做品牌，三流企業(yè)做產(chǎn)品。只有掌握了標(biāo)準(zhǔn)的制定權(quán)，才是一流企業(yè)。

下文，我們來看看9月實(shí)施的MEMS技術(shù)新國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)有哪些？我國(guó)有哪些MEMS/傳感器標(biāo)準(zhǔn)團(tuán)體？以及我國(guó)目前的MEMS&傳感器標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)情況。

9月，這些MEMS技術(shù)新國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施！今年有7項(xiàng)新MEMS技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)落地！還有10項(xiàng)MEMS新國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)正在起草！

據(jù)全國(guó)標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺(tái)網(wǎng)站顯示，全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)SAC/TC336（簡(jiǎn)稱“微機(jī)電標(biāo)委會(huì)”）——MEMS技術(shù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)主要?dú)w口單位，發(fā)布多項(xiàng)MEMS技術(shù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)制定情況。

目前，我國(guó)MEMS技術(shù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)正在實(shí)行/即將實(shí)施的有31項(xiàng)，10項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)已上升為IEC國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。其中3項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)自9月1日開始正式實(shí)施，分別是：

GB/T 42191-2023MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗(yàn)方法

GB/T 42597-2023微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 陀螺儀

GB/T 26111-2023微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語

▲來源：全國(guó)標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺(tái)

《GB/T 26111-2023 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語》 標(biāo)準(zhǔn)主要界定了微機(jī)電系統(tǒng)器件及其生產(chǎn)工藝相關(guān)的術(shù)語和定義，適用于微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域的研究、開發(fā)、評(píng)測(cè)和應(yīng)用。

該標(biāo)準(zhǔn)文件，全部替代實(shí)施于2011年1月的舊標(biāo)準(zhǔn)GB/T 26111-2010。

▲來源：全國(guó)標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺(tái)

此外，《GB/T 42191-2023 MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗(yàn)方法》和《GB/T 42597-2023 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 陀螺儀》均為新設(shè)立的標(biāo)準(zhǔn)。

《GB/T 42191-2023 MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗(yàn)方法》文件描述了 MEMS 壓阻式壓力敏感器件試驗(yàn)條件和試驗(yàn)方法，適用于 MEMS 壓阻式壓力敏感器件。

《GB/T 42597-2023 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 陀螺儀》文件規(guī)定了陀螺儀的術(shù)語和定義、額定值、性能參數(shù)及測(cè)量方法。陀螺儀主要用于消費(fèi)電子、工業(yè)和航空航天等。陀螺儀廣泛采用MEMS和半導(dǎo)體激光器技術(shù)。

另有3項(xiàng)MEMS標(biāo)準(zhǔn)已通過審核將在今年12月實(shí)施，分別是：

GB/T 42895-2023微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 硅基MEMS微結(jié)構(gòu)彎曲強(qiáng)度試驗(yàn)方法

GB/T 42896-2023微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 硅基MEMS納尺度結(jié)構(gòu)沖擊試驗(yàn)方法

GB/T 42897-2023微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 硅基MEMS納米厚度膜抗拉強(qiáng)度試驗(yàn)方法

值得一提的是，還有10項(xiàng)MEMS新標(biāo)準(zhǔn)正在起草制定中，這些標(biāo)準(zhǔn)的制定計(jì)劃都是在2022年下達(dá)的。

全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)成立于2008年，目前包括即將實(shí)施的標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)，共有31項(xiàng)MEMS標(biāo)準(zhǔn)，可見近年來我國(guó)MEMS標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)正在加速。

▲來源：全國(guó)標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺(tái)

我國(guó)傳感器標(biāo)準(zhǔn)化情況如何？什么是全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)？我國(guó)MEMS標(biāo)準(zhǔn)情況如何？

首先需要說明的是，目前我國(guó)并沒有一個(gè)叫“全國(guó)傳感器技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)”的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，來統(tǒng)一制定各種傳感器標(biāo)準(zhǔn)。

這主要是因?yàn)閭鞲衅髯鳛樾畔⒖萍蓟A(chǔ)，是各種儀器儀表、物聯(lián)網(wǎng)、汽車、消費(fèi)電子、工業(yè)、航空航天等設(shè)備的關(guān)鍵基礎(chǔ)零部件，種類繁多且領(lǐng)域跨度極大，譬如同樣是壓力傳感器，用在消費(fèi)電子跟用在工業(yè)、航空領(lǐng)域，技術(shù)要求、標(biāo)定等等完全不一樣，極難統(tǒng)一。

因此，傳感器標(biāo)準(zhǔn)的制定歸口到各領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)中，如全國(guó)汽車標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)下面就有相關(guān)汽車傳感器技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的制定。目前，傳感器標(biāo)準(zhǔn)涉及到十幾個(gè)標(biāo)委會(huì)和行業(yè)歸口單位，包括：SAC/TC78（半導(dǎo)體器件）、SAC/TC103（光學(xué)和光子學(xué)）、SAC/TC104（電工儀器儀表）、SAC/TC124（工業(yè)過程測(cè)量控制和自動(dòng)化）、SAC/TC159（工業(yè)自動(dòng)化系統(tǒng)與集成）、SAC/TC284（光輻射安全和激光設(shè)備）、SAC/TC338（測(cè)量控制和實(shí)驗(yàn)室電器設(shè)備安全）、SAC/TC419（儀表功能材料）、SAC/TC526（實(shí)驗(yàn)室儀器及設(shè)備）、機(jī)械工業(yè)儀器儀表元器件標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)等等。

相比傳感器領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)化情況的復(fù)雜，MEMS技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)化情況就相對(duì)簡(jiǎn)單的多。

全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)SAC/TC336（簡(jiǎn)稱“微機(jī)電標(biāo)委會(huì)”）是我國(guó)第一個(gè)MEMS技術(shù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)團(tuán)體，也是我國(guó)MEMS技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的主要?dú)w口單位，我國(guó)多家MEMS傳感器著名企業(yè)均有參與，并進(jìn)行相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的制定工作。

微機(jī)電標(biāo)委會(huì)成立于2008年，主要負(fù)責(zé)關(guān)鍵尺寸在微米量級(jí)內(nèi)的機(jī)電一體化裝置的制造加工、 設(shè)計(jì)、 集成、 可靠性評(píng)價(jià)， 及檢測(cè)等共性技術(shù)領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)化工作。

▲來源：全國(guó)標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺(tái)

微機(jī)電標(biāo)委會(huì)由機(jī)械科學(xué)研究院中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心籌建，由國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)進(jìn)行業(yè)務(wù)指導(dǎo)，現(xiàn)任秘書長(zhǎng)為李根梓博士。

目前孫立寧院士任微機(jī)電標(biāo)委會(huì)主任委員，孫立寧院士是國(guó)家“十五”863計(jì)劃?rùn)C(jī)器人技術(shù)主題專家、國(guó)家“十五”863計(jì)劃MEMS重大專項(xiàng)總體組組長(zhǎng)，相關(guān)資料參看《中國(guó)MEMS專家當(dāng)選俄羅斯院士！》

▲微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系框架，來源：《SAC/TC 336 全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)工作情況》

MEMS國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)方面，自二十世紀(jì)末起， 微機(jī)電系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化工作就引起了國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家和地區(qū)的標(biāo)準(zhǔn)化機(jī)構(gòu)與組織的重視，并開展了大量相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的研究與制定工作。

國(guó)際電工委員會(huì)在二十世紀(jì)九十年代末期，明確提出制定微機(jī)電 MEMS 標(biāo)準(zhǔn)， 并設(shè)立 MEMS 工作組 （IEC/TC 47/WG 4），現(xiàn)已提升為分技術(shù)委員會(huì) （IEC/TC 47/SC 47F）。這個(gè)分技術(shù)委員會(huì)也是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)惟一一個(gè)微機(jī)電 MEMS 領(lǐng)域的委員會(huì)， 現(xiàn)在已經(jīng)發(fā)布和計(jì)劃制定多項(xiàng) MEMS 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。

此外，國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì) （Semiconductor Equipment andMaterials International，SEMI），在 2001 年成立了 MEMS 標(biāo)準(zhǔn)化工作組， 并制定了四個(gè)方向：潔凈室規(guī)范、術(shù)語、材料特性及封裝與處理。

美國(guó)材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì) （ASTM） 、日本微機(jī)械中心 （MMC）均對(duì)MEMS技術(shù)的不同領(lǐng)域提出標(biāo)準(zhǔn)化方案。

目前，我國(guó)微機(jī)電系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化工作雖然落后于發(fā)達(dá)國(guó)家和地區(qū)， 但國(guó)際微機(jī)電標(biāo)準(zhǔn)化工作也處于起步階段，我國(guó)微機(jī)電系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化同國(guó)外先進(jìn)水平差距不大。

關(guān)鍵的問題是，中國(guó)的標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體需要積極參與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的制定，從而帶領(lǐng)國(guó)內(nèi)企業(yè)參與全球化合作和競(jìng)爭(zhēng)。

還有另一個(gè)MEMS國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)單位？多個(gè)MEMS/傳感器標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)有什么不同？

此前，2023 年 4 月 6 日，全國(guó)集成電路標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（以下簡(jiǎn)稱“集成電路標(biāo)委會(huì)”）成立，這是我國(guó)集成電路領(lǐng)域首個(gè)一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)化單位，由工信部直接領(lǐng)導(dǎo)。

集成電路標(biāo)委會(huì)負(fù)責(zé)專業(yè)范圍包括：集成電路設(shè)備、半導(dǎo)體集成電路、膜集成和混合膜集成電路、微波集成電路、電路模塊、集成電路芯片及知識(shí)產(chǎn)權(quán)模塊（IP核）、集成電路微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）等產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和應(yīng)用。

▲來源：全國(guó)標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺(tái)

可以發(fā)現(xiàn)，集成電路標(biāo)委會(huì)也涵蓋了部分MEMS標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)的任務(wù)，據(jù)此前披露的籌建信息顯示，集成電路標(biāo)委會(huì)將設(shè)置4個(gè)分技術(shù)委員會(huì)，其中SC4微電子機(jī)械系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化分技術(shù)委員會(huì)圍繞MEMS系統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造、使用等相關(guān)需求，開展標(biāo)準(zhǔn)化工作。

并且，籌建文件中，強(qiáng)調(diào)了集成電路標(biāo)委會(huì)參與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化工作的職責(zé)，將對(duì)標(biāo)美國(guó)SEMI（國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）等國(guó)際組織，重點(diǎn)負(fù)責(zé)IEC/TC47/SC47A、SC47D、SC47F等國(guó)際對(duì)口標(biāo)準(zhǔn)化工作。

從上文介紹我們可以知道，IEC/TC 47/SC 47F即國(guó)際電工委員會(huì)MEMS分技術(shù)委員會(huì)。

▲分標(biāo)委和工作組設(shè)置結(jié)構(gòu)（來源：全國(guó)集成電路標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)籌建申請(qǐng)書）

因此，微機(jī)電標(biāo)委會(huì)SAC/TC336與集成電路標(biāo)委會(huì)微電子機(jī)械系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化分技術(shù)委員會(huì)SAC/TC599/SC4，在MEMS標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)上可能部分存在重疊。但TC336將主導(dǎo)主要的MEMS國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)工作，而TC599/SC4則主要聚焦于集成電路領(lǐng)域的MEMS技術(shù)應(yīng)用。

在早期的集成電路標(biāo)委會(huì)籌備文件中，沈陽儀表科學(xué)研究院、必創(chuàng)科技、深迪半導(dǎo)體、格科微、大立科技、瑞聲科技、歌爾股份、漢威科技等多家傳感器企業(yè)，作為MEMS單位參與集成電路標(biāo)委會(huì)籌建工作，這些單位亦同樣深度參與了微機(jī)電標(biāo)委會(huì)相關(guān)MEMS標(biāo)準(zhǔn)的建設(shè)工作。

多個(gè)MEMS技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)分委會(huì)成立！中國(guó)MEMS標(biāo)準(zhǔn)正在不斷完善！

隨著近年來MEMS技術(shù)的快速發(fā)展，以及在汽車、新能源等領(lǐng)域的不斷滲透，MEMS技術(shù)在眾多領(lǐng)域發(fā)揮了重要作用并亟需標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)。

在微機(jī)電標(biāo)委會(huì)SAC/TC336下，多個(gè)分委會(huì)相繼成立：

2022年12月，微機(jī)電標(biāo)委會(huì)SAC/TC336成立能源領(lǐng)域MEMS標(biāo)準(zhǔn)化研究組，聚焦能源領(lǐng)域的MEMS傳感器技術(shù)發(fā)展及應(yīng)用需求。

2023年6月，微機(jī)電標(biāo)委會(huì)SAC/TC336車載MEMS標(biāo)準(zhǔn)化工作組成立，聚焦汽車領(lǐng)域MEMS標(biāo)準(zhǔn)體系的建設(shè)。

2023年8月，微機(jī)電標(biāo)委會(huì)SAC/TC336籌備成立健康領(lǐng)域MEMS標(biāo)準(zhǔn)化研究組，該研究組由國(guó)家高性能醫(yī)療器械創(chuàng)新中心推動(dòng)籌建，可見我們醫(yī)療器械領(lǐng)域的對(duì)MEMS技術(shù)的重視。

此外，微機(jī)電標(biāo)委會(huì)SAC/TC336設(shè)立/籌備的標(biāo)準(zhǔn)化組有：

青年工作組/前沿技術(shù)研究組、MEMS器件標(biāo)準(zhǔn)化工作組、射頻MEMS標(biāo)準(zhǔn)化研究組、微尺度檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)化研究組、柔性電子標(biāo)準(zhǔn)化研究組、硅基MEMS工藝標(biāo)準(zhǔn)化研究組、能源領(lǐng)域MEMS技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究組、MEMS高端裝備應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)化研究組、MEMS制造能力評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)化研究組、MEMS慣性器件與系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化研究組、汽車MEMS傳感器標(biāo)準(zhǔn)化研究組等。

其中，多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化組在近幾年相繼成立，我國(guó)MEMS標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)速度加快！

結(jié)語

因?yàn)閭鞲衅黝I(lǐng)域的特殊性，目前我國(guó)傳感器標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)情況相對(duì)較復(fù)雜。

而MEMS國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)主要?dú)w口單位為全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)SAC/TC336，此外，另有新設(shè)立集成電路標(biāo)委會(huì)微電子機(jī)械系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化分技術(shù)委員會(huì)SAC/TC599/SC4，主要負(fù)責(zé)集成電路領(lǐng)域MEMS國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)工作。

從本文分析可以看到，近年來隨著我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，以及國(guó)家對(duì)智能傳感器的重視，MEMS國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)速度明顯加快。

MEMS標(biāo)準(zhǔn)從混亂走向秩序，MEMS領(lǐng)先者們正在建立領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)和行業(yè)準(zhǔn)入壁壘，中國(guó)MEMS/傳感器企業(yè)野蠻成長(zhǎng)的時(shí)代將會(huì)結(jié)束，MEMS/傳感器初創(chuàng)企業(yè)們要把握好這個(gè)快速成長(zhǎng)的時(shí)代機(jī)遇！

參與制定標(biāo)準(zhǔn)，或者成為標(biāo)準(zhǔn)！

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